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半導體性能優(yōu)越 離不開超純水裝置的加持

2022-07-27

  說到膨脹,人們首先想到的是石油和黃金、商品和消費品價格的上漲。其實,在通脹的大環(huán)境下,沒有人能夠獨善其身,生活中的所有物品都會漲價,只是存在先后的問題,而半導體屬于后一種漲價的品種。那么當價格傳導到半導體對應的上市公司業(yè)績又有一波大幅增長時,雖然成本端也會增加,但總體來說還是表現(xiàn)不錯的。而如果價格和產(chǎn)能的落地能夠幸運的遇到,那么整個半導體板塊爆發(fā)出來的增長將超乎我們的想象。

  半導體行業(yè)在生產(chǎn)過程中需要大量的清潔水。隨著半導體行業(yè)的不斷發(fā)展,對清潔水的電導率、離子含量、TOC、DO和顆粒物的要求也越來越嚴格。由于超純水對半導體的許多指標要求很高,所以半導體行業(yè)的超純水與其他行業(yè)的水要求不同。半導體行業(yè)對超純水的水質(zhì)要求極為嚴格。目前,我國常用的超純水標準是國家標準《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)和美國標準《電子和半導體行業(yè)用超純水指南》(ASTM-D5127-13)。

超純水設備

  硼是半導體生產(chǎn)過程中的一種P型雜質(zhì),過量會使N型硅反轉,從而影響電子和空穴的濃度。因此,在超純水行業(yè)中應充分考慮去除硼。半導體超純水工藝中的Huncotte系統(tǒng)采用核級樹脂,通過獨特的定向離子交換樹脂,可以有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量。采用IPC-MS檢測硼離子含量,分析出的硼離子出水≤0.005μG/L,遠遠低于ASTM-D5127-13標準中E1.3中硼離子≤0.05μg/L的要求,因此可以說半導體性能優(yōu)越,離不開超純水裝置的加持。

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