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超純水設備

集成電路芯片超純水設備

2023-09-28

  半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。

  集成電路芯片超純水設備原理

  EDI超純水系統是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子,被吸附的離子在直流電壓的作用下,分別透過陰陽離子交換膜而被除去的過程。電滲析器的一對電極之間,通常由陰膜、陽膜和隔板多組交替排列,構成濃室和淡室(即陽離子可透過陽膜、陰離子可透過陰膜)。淡室水中陽離子向負極遷移透過陽膜,被濃室中的陰膜截留,水中陰離子向正極方向遷移陰膜,被濃室中的陽膜截留,這樣通過淡室的水中離子數逐漸減少,成為淡水。而濃室的水中,由于濃室的陰陽離子不斷涌進,電介質離子濃度不斷升高,而成為濃水,從而達到淡化、提純、濃縮或精制的目的。這一過程離子交換樹脂是電連續再生的,因此不需要使用酸和堿對之再生。

集成電路芯片超純水設備

  集成電路芯片超純水設備優勢及特點

  1、工作壓力高,不漏水:由于模塊采用了橡膠O型圈多層密封,保證了模塊耐壓高、不漏水。

  2、無化學物質使用:由于濃水中填充了技術樹脂,降低了膜電阻,因此系統中不需要濃水循環及注鹽在淡水室填充分層排列樹脂,更有利于弱電解質的祛除。

  3、系統簡單,配管簡單,無循環泵及注鹽系統,不需要PLC程序控制器,系統建造成本和維護費用低。

  4、濃水回收,濃水水質(20-100μS/cm)優于原水水質,可回收至RO前繼續使用。

  5、其他優勢,系統不注鹽,因此不產生氯氣破壞模塊內部結構及污染周圍環境,獨立的模塊電源控制,單一模塊需維修,不影響其他模塊正常工作。

  EDI超純水系統的應用領域

  EDI超純水系統適用于電子、半導體、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路、精密機械行業超純水,食品、飲料、飲用水的制備,精細化工、精尖學科用水,其他行業所需的高純水制備,制藥工業工藝用水,海水、苦咸水的淡化,制藥行業用水大輸液、針劑、片劑、生化制品、設備清洗等,海水、苦咸水淡化,汽車、家電涂裝、鍍膜玻璃、化裝品、精細化學品等用超純水。

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