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超純水設備

半導體行業用超純水設備

2023-09-28

  半導體行業用超純水設備采用PLC+觸摸屏控制,全套系統自動化程度高,系統穩定性高,大大節省人力成本和維護成本。水利用率高,運行可靠,經濟合理。使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。

  半導體行業用超純水設備工藝

  預處理→UF系統→一級反滲透→PH調節→級間水箱→二級反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→EDI裝置→氮封水箱→增壓水泵→拋光混床→循環增壓泵→用水對象(≥18MΩ.CM)

  半導體行業用超純水設備特點

  為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量,在工藝設計上,以符合國家自來水標準的水作為源水,再設有介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、EDI系統、拋光混床等。 系統中水箱均設有液位控制系統、高壓水泵設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法,使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。

半導體行業用超純水設備

  系統應用場合

  ☆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路

  ☆電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗

  ☆電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

  ☆顯像管和陰極射線管生產、配料用純水

  ☆黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水

  ☆液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液

  ☆晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制

  ☆集成電路生產中高純水清洗硅片

  ☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏

  ☆高品質顯像管、螢光粉生產

  ☆半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗

  ☆超純材料和超純化學試劑、超純化工材料

  ☆實驗室和中試車間

  ☆汽車、家電表面拋光處理

  ☆光電產品、其他高科技精微產品

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