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超純水設(shè)備為硅片清洗提供了堅(jiān)實(shí)保障

2025-05-14

  在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的當(dāng)下,硅片作為芯片制造的核心原材料,其清洗環(huán)節(jié)的重要性不言而喻。而硅片清洗用水生產(chǎn),超純水設(shè)備更是不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備,它為硅片的高質(zhì)量清洗提供了堅(jiān)實(shí)保障。?

  硅片清洗對(duì)水質(zhì)有著近乎苛刻的要求。哪怕很微量的雜質(zhì),如金屬離子、顆粒污染物、有機(jī)物等,都可能在硅片表面殘留,對(duì)后續(xù)的光刻、蝕刻等工藝產(chǎn)生嚴(yán)重影響,進(jìn)而導(dǎo)致芯片性能下降,甚至出現(xiàn)廢品。以金屬離子為例,它可能改變硅片的電學(xué)性能,使得芯片的電路功能異常;顆粒污染物會(huì)破壞硅片表面的平整度,影響光刻精度。因此,用于硅片清洗的水必須是超純水,其電阻率需達(dá)到 18.2MΩ?cm 以上,幾乎不含任何雜質(zhì)。?

超純水設(shè)備

  超純水設(shè)備憑借先進(jìn)的技術(shù)原理實(shí)現(xiàn)了超純水的生產(chǎn)。它通常結(jié)合了反滲透(RO)、電去離子(EDI)等多種工藝。反滲透技術(shù)利用半透膜的特性,在壓力驅(qū)動(dòng)下,將水中的大部分離子、有機(jī)物和顆粒物質(zhì)截留,去除率可達(dá) 90% 以上;EDI 技術(shù)則進(jìn)一步通過電滲析和離子交換樹脂的協(xié)同作用,深度去除水中殘留的微量離子,最終產(chǎn)出滿足硅片清洗要求的超純水。這種層層遞進(jìn)的處理方式,確保了水質(zhì)的高度純凈。?

  超純水設(shè)備在硅片清洗用水生產(chǎn)中有著無可替代的優(yōu)勢。一方面,它能夠穩(wěn)定、連續(xù)地生產(chǎn)超純水,滿足大規(guī)模硅片清洗的用水需求;另一方面,相比傳統(tǒng)的蒸餾等制水方法,超純水設(shè)備具有更高的效率和更低的能耗,降低了生產(chǎn)成本。而且,其自動(dòng)化程度高,便于操作和管理,可實(shí)時(shí)監(jiān)測水質(zhì)和設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決問題。?

  可以說,超純水設(shè)備是硅片清洗用水生產(chǎn)的核心。沒有它,就無法獲得滿足要求的超純水,硅片清洗的質(zhì)量也就難以保證。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步,對(duì)硅片清洗用水的質(zhì)量要求還將持續(xù)提升,超純水設(shè)備也將不斷升級(jí)創(chuàng)新,在硅片清洗乃至整個(gè)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域發(fā)揮更為重要的作用。

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