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萊特萊德超純水設(shè)備采用兩級RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝，處理后的水質(zhì)可達到18MΩ.CM以上，符合半導(dǎo)體用水標準。...
超純水設(shè)備主要采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、EDI模塊以及后級處理等方法，幾乎可去除水中的導(dǎo)電介質(zhì)，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度，從而達到國家規(guī)定標準。...
萊特萊德生產(chǎn)的EDI超純水設(shè)備，主要采用的是兩級RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝，可以確保處理后的超純水水質(zhì)電阻率達到18.2MΩ.cm。...
在高頻的運行過程中，超純水設(shè)備也會出現(xiàn)一些“插曲”，而在這些插曲中維護清洗問題尤為重要。...
萊特萊德生產(chǎn)的超純水處理設(shè)備，水質(zhì)電阻率達到了18 MΩ*cm(25℃)，完全符合芯片清洗用水要求。...
超純水是一般工藝很難達到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.2MΩ*cm...
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