在經濟持續蓬勃發展的當下,集成電路設計領域對水質的要求愈發嚴苛。生產過程中,超純水成為保障集成電路性能的關鍵要素。展望未來數年,隨著集成電路制造商數量的遞增以及制造能力的提升,該行業對于超純水制備的需求將全面上揚,不僅在 “量” 上要求更多,鑒于集成電路制造工藝日益精密,對純水純度與穩定性等 “質” 的標準也將更為嚴格。
長期以來,混床離子交換技術作為超純水制備的經典工藝,在超純水生產領域應用廣泛。然而,這一傳統工藝存在明顯弊端。其再生過程需周期性進行,期間會消耗大量化學藥品(酸堿)以及工業純水,同時還會引發一定的環境問題。基于此,研發無酸堿超純水系統迫在眉睫。
傳統離子交換工藝在現代工業發展和環保理念普及的浪潮下,逐漸難以契合需求。在此背景下,融合了膜、樹脂以及電化學原理的 EDI 技術應運而生,堪稱水處理技術領域的重大革新。EDI 設備中離子交換樹脂的再生依靠電能實現,徹底摒棄了酸堿的使用,高度契合當下環保要求。
EDI 設備通常銜接于反滲透系統之后,用以替代傳統混床離子交換技術,穩定產出超純水。超純水系統一般由反滲透水處理設備、EDI 設備以及拋光混床協同構成,共同制備超純水。這一組合不僅代表著超純水制備的全新技術路徑,更因其環保、經濟且具備巨大發展潛力,成為非常有前景的超純水制備工藝。
超純水設備優勢顯著,能夠持續穩定地生產高品質超純水,避免了因樹脂再生導致的運行中斷。設備在結構設計上非常緊湊,占地面積小,可為企業節省大量空間資源。相較于傳統超純水制備方法,超純水設備優點眾多,能夠持續、穩定地為集成電路產業供應高質量超純水,有力推動集成電路產業邁向更高發展臺階 。
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