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超純水設備采用反滲透膜元件提升集成電路用水標準

2025-01-02

  集成電路制造過程中對水質的要求非常嚴格,因為哪怕是很微小的雜質都可能導致芯片性能下降或生產失敗。因此,超純水是集成電路制造業不可或缺的原料之一。反滲透(RO)膜元件作為超純水設備不可或缺的重要組成部分,在解決集成電路(IC)用水標準方面扮演著至關重要的角色。本文將重點為大家介紹反滲透膜在集成電路用水中的關鍵作用。

超純水設備

  反滲透技術在集成電路用水處理中的應用

  去除雜質:反滲透膜能夠有效去除水中的溶解鹽類、有機物、膠體、細菌、病毒以及部分溶解氣體等雜質。其工作原理基于半透膜的選擇透過性,允許水分子通過而阻擋絕大多數溶解物質,從而達到高度凈化水質的目的。

  預處理與后處理結合:為了達到集成電路用水的高標準,反滲透通常作為整個水處理系統的一部分,前面可能包括多介質過濾、活性炭吸附等預處理步驟以去除大顆粒雜質和有機物,之后結合EDI技術與拋光混床技術,進一步提升水質,確保水中離子含量低,電阻率高。

  符合嚴格的水質要求:集成電路制造業對水質的要求通常遵循如美國電子工業協會(EIA)/國際半導體設備和材料組織(SEMI)制定的標準,如SEMICONDUCTOR ULTRA PURE WATER(SUPW)標準。反滲透膜處理后的水能夠滿足這些標準中關于導電率、顆粒物含量、有機物含量、微生物控制等嚴苛要求。

  能效與環保:相較于傳統的脫鹽方法,如多級蒸餾,反滲透技術具有更高的能效比,減少了能源消耗和碳排放,更加環保。這對于追求可持續發展的集成電路產業而言尤為重要。

  綜上所述,反滲透膜元件是實現集成電路用水高標準的關鍵技術之一,它通過高效去除水中的各種雜質,為集成電路制造提供必要的超純水,保障了芯片生產的質量和可靠性,同時也符合現代半導體行業對環境友好和能效提升的需求。隨著技術的不斷進步,反滲透膜技術在這一領域的應用也將更加廣泛和高效。

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  編輯:微笑女王   技術:星星

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