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超純水是保障電子級氫氟酸產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵

2022-09-16

  據(jù)數(shù)據(jù)顯示,2021年全球半導(dǎo)體銷售額達(dá)到5559億美元,同比增長26.2%;中國的銷售額為1925億美元,同比增長27.1%,占全球份額的34.6%。更值得一提的是,2021年中國集成電路銷售額突破萬億元,同比增長18.2%,達(dá)到驚人的10458.3億元。

  從上面這些數(shù)據(jù)不難看出,全球半導(dǎo)體行業(yè),特別是中國的半導(dǎo)體行業(yè),正處在一個爆發(fā)性增長階段。這也意味著,氫氟酸等半導(dǎo)體化學(xué)品原材料的需求將會越來越大。電子級氫氟酸主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程的清洗和刻蝕等工序,它的純度和潔凈度對集成電路的良品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。

  雖然近幾年來我國電子級氫氟酸生產(chǎn)技術(shù)取得了重大突破,但要想反超美日德,仍還有很長的路要走。一方面,要“緊盯”高品質(zhì)電子級氫氟酸制備的關(guān)鍵技術(shù)不撒手;而另一方面,則要“吃透”生產(chǎn)電子級氫氟酸的配套技術(shù)。

  一般來說,生產(chǎn)電子級氫氟酸的配套技術(shù)主要包括分析控制與產(chǎn)品檢測、超純水技術(shù)、包裝技術(shù)以及環(huán)境控制。而在這5種技術(shù)中,超純水是保障其良品率的關(guān)鍵。超純水既用于電子級氫氟酸的生產(chǎn),又用于包裝容器的超凈清洗,其純度的高低直接決定著電子級氫氟酸產(chǎn)品質(zhì)量。

  超純水的生產(chǎn)離不開超純水設(shè)備。超純水設(shè)備設(shè)計采用成熟、可靠、高度自動化的兩級ro+EDI+精混床除鹽水處理工藝,確保處理后的水電阻和電電阻達(dá)到18MΩ.CM以上。厘米該設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水,不會因樹脂再生而停止運(yùn)行。設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計相對緊湊,占地面積小,可為企業(yè)節(jié)省大量空間。半導(dǎo)體超純水設(shè)備出廠前需進(jìn)行壓力試驗(yàn)。設(shè)備故障概率小,日常維護(hù)和維修操作非常簡單。半導(dǎo)體超純水設(shè)備還配備了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù),再次從根本上確保了水處理設(shè)備的出水質(zhì)量。

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