在集成電路、分立器件和其他半導體產(chǎn)品中，半導體材料是半導體產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)的重要組成部分，起著關鍵作用。目前全球的半導體產(chǎn)業(yè)鏈正向中國大陸轉(zhuǎn)移，中國晶圓廠擴產(chǎn)的步伐已逐漸加快。隨著國內(nèi)晶圓廠的投產(chǎn)，對半導體材料的需求也將增加，市場的需求空間已被打開，因半導體元件集成度高，生產(chǎn)線狹窄，對水質(zhì)的要求特別高，超純水成為電子工業(yè)用水的“標配”。

　　江陰某半導體企業(yè)應用超純水設備項目

　　項目工藝

　　自來水進入原水箱，經(jīng)過原水泵增壓，經(jīng)過砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器，到達反滲透單元，經(jīng)兩級反滲透過濾，進入EDI單元，達到電阻率15MΩ·cm(25℃)進入純水水箱。純水供水設計為循環(huán)方式，經(jīng)純水供水泵增壓，通過紫外線消毒器、拋光混床接入純水供水管，到達使用點。

　　萊特萊德超純水設備設計原則

　　1、根據(jù)進、出水要求，選擇成熟可靠、高效節(jié)能、占地少、經(jīng)濟實用的處理工藝，保證處理效果，減少工程投資和日常費用。

　　2、工藝流程簡潔通暢，整體布置簡潔、合理、美觀符合廠區(qū)的統(tǒng)一規(guī)劃，要求水處理設施布局與周圍環(huán)境協(xié)調(diào)，不對周圍環(huán)境造成二次污染。

　　3、管道布局合理，充分利用現(xiàn)有設置和現(xiàn)有地形條件。整體施工期短、安裝方便、便于管理。安全措施得當，避免隱患。

　　4、通過對各功能模塊進行優(yōu)化組合，以確保整個系統(tǒng)的高性能和高品質(zhì)，使產(chǎn)品水完全達到或優(yōu)于用水水質(zhì)標準。

　　萊特萊德超純水設備中水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵配有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電器采用PLC可編程序控制器，實際實現(xiàn)了無人操作，同時在工藝選材方面采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設備同其他同類產(chǎn)品相比，有較高的性價比。