在集成電路、分立器件和其他半導(dǎo)體產(chǎn)品中，半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游環(huán)節(jié)的重要組成部分，起著關(guān)鍵作用。目前全球的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈正向中國大陸轉(zhuǎn)移，中國晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)的步伐已逐漸加快。隨著國內(nèi)晶圓廠的投產(chǎn)，對(duì)半導(dǎo)體材料的需求也將增加，市場(chǎng)的需求空間已被打開，因半導(dǎo)體元件集成度高，生產(chǎn)線狹窄，對(duì)水質(zhì)的要求特別高，超純水成為電子工業(yè)用水的“標(biāo)配”。

　　江陰某半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用超純水設(shè)備項(xiàng)目

　　項(xiàng)目工藝

　　自來水進(jìn)入原水箱，經(jīng)過原水泵增壓，經(jīng)過砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器，到達(dá)反滲透單元，經(jīng)兩級(jí)反滲透過濾，進(jìn)入EDI單元，達(dá)到電阻率15MΩ·cm(25℃)進(jìn)入純水水箱。純水供水設(shè)計(jì)為循環(huán)方式，經(jīng)純水供水泵增壓，通過紫外線消毒器、拋光混床接入純水供水管，到達(dá)使用點(diǎn)。

　　萊特萊德超純水設(shè)備設(shè)計(jì)原則

　　1、根據(jù)進(jìn)、出水要求，選擇成熟可靠、高效節(jié)能、占地少、經(jīng)濟(jì)實(shí)用的處理工藝，保證處理效果，減少工程投資和日常費(fèi)用。

　　2、工藝流程簡(jiǎn)潔通暢，整體布置簡(jiǎn)潔、合理、美觀符合廠區(qū)的統(tǒng)一規(guī)劃，要求水處理設(shè)施布局與周圍環(huán)境協(xié)調(diào)，不對(duì)周圍環(huán)境造成二次污染。

　　3、管道布局合理，充分利用現(xiàn)有設(shè)置和現(xiàn)有地形條件。整體施工期短、安裝方便、便于管理。安全措施得當(dāng)，避免隱患。

　　4、通過對(duì)各功能模塊進(jìn)行優(yōu)化組合，以確保整個(gè)系統(tǒng)的高性能和高品質(zhì)，使產(chǎn)品水完全達(dá)到或優(yōu)于用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

　　萊特萊德超純水設(shè)備中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵配有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電器采用PLC可編程序控制器，實(shí)際實(shí)現(xiàn)了無人操作，同時(shí)在工藝選材方面采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備同其他同類產(chǎn)品相比，有較高的性價(jià)比。